Die Halbleiterindustrie, eine aufstrebende Technologiebranche, die den Wandel unserer Zeit anführt, hat Durchbrüche in den Bereichen KI-Technologie, 5G-Kommunikation, Solarmodule und Telekommunikationsgeräte erzielt, die Entwicklung einer Reihe neuer intelligenter Industrien gefördert und einen komfortableren Lebensstil für die Menschen geschaffen.
Bei der Halbleiterfertigung spielen neben komplexen Technologien und Prozessen elektronische Spezialgase eine besonders wichtige Rolle. Sie werden in nahezu jedem Fertigungsschritt eingesetzt und sind ein essenzieller Rohstoff, quasi das Lebenselixier der Halbleiterindustrie. Über 100 verschiedene elektronische Spezialgase kommen in der Produktion zum Einsatz, unter anderem beim Ätzen, Dotieren, Epitaxieabscheiden und Reinigen. Da Reinheit und Sauberkeit der elektronischen Spezialgase die Qualität und die Qualifizierungsrate der fertigen Halbleiterprodukte direkt beeinflussen, stellt die Halbleiterindustrie hohe Anforderungen an sie.
Was die Halbleiterindustrie betrifft, so ist selbst bei garantierter Reinheit der Gasproduktion ein Fehler in der Kette vom Gastransport bis zur Anwendung schädlich für die Halbleiterfertigung. Wie lässt sich die Reinheit von Elektronikgasen gewährleisten?
Hierfür werden Halbleiterflüssigkeitskomponenten benötigt. Ob es sich um ein Ventil zur präzisen Gassteuerung, einen Schlauchverbinder oder eine Schlauchverschraubung für elektronische Spezialgase handelt – sie müssen den relevanten ASTM-SEMI-Industriestandards entsprechen und folgende Eigenschaften aufweisen:
1. Die Reinheit der Rohstoffe muss durch Auswahl von hochreinem, raffiniertem Edelstahl der Marke VIM VAR gewährleistet werden, um eine hohe Reinheit bereits an der Quelle sicherzustellen;
2. Die Innenfläche des fertigen Produkts wird durch elektrochemisches Polieren, Passivieren und andere Verfahren behandelt, um eine ultrareine Oberfläche zu erzielen und die Korrosionsbeständigkeit des Produkts zu verbessern.
3. Einige elektronische Gase sind entzündlich und giftig, daher müssen sie auch über ausgezeichnete Dichtungseigenschaften, hohe Temperaturbeständigkeit und Verschleißfestigkeit verfügen.
Mit der Unterstützung hochreiner Fluidelemente, die den oben genannten Eigenschaften entsprechen, kann das Gas Sekundärverschmutzungen vermeiden, eine sichere Arbeitsumgebung schaffen und zur erfolgreichen Herstellung verschiedener Halbleiterbauelemente beitragen.
Seit 2017 nimmt Hikelok seit vielen Jahren in Folge an der internationalen Halbleitermesse Semicon China teil. Das Unternehmen verfügt über umfangreiche Anwendungserfahrung seiner Produkte in der Halbleiterindustrie.Ultrareine Seriezeigte hervorragende Leistungen und wird von den Kunden geschätzt.
Die hochreinen Produkte der Hikelok-Serie erfüllen von der Rohstoffauswahl über die Verarbeitung nach höchsten Standards bis hin zur staubfreien Montage und Verpackung die Anforderungen der Halbleiterindustrie an Fluidkomponenten und die entsprechenden Industriestandards. Zu den Produkttypen gehören unter anderem:Reinheitsdruckreduzierventil,hochreines Membranventil,hochreines, balggedichtetes Ventil,integriertes Panel,Hochreine Armaturen und EP-RohrEs gibt sie in vielen Größen und Ausführungen und sie können auch an unterschiedliche Installationsanforderungen angepasst werden.
Für die Rohstoffe werden die Werkstoffe 316L VAR und 316L VIM-VAR verwendet, die den Anforderungen der SEMI F200305 entsprechen und sich durch guten Glanz, hohe Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit auszeichnen. Die Chargennummer des Werkstoffs ist auf der Außenfläche jedes Produkts eingraviert, um die Rückverfolgbarkeit der Rohstoffe zu gewährleisten.
Die High-Pure-Serie unterliegt strengen Verarbeitungsstandards. Nach der Fertigstellung wird die Innenfläche elektrochemisch poliert. Dieses Verfahren verbessert die Reinheit und Korrosionsbeständigkeit des Produkts zusätzlich und reduziert das Risiko einer möglichen Produktverschmutzung der Gase während des Gebrauchs.
Es handelt sich um einen Reinraum nach ISO-Norm Stufe 4. Die Produkte werden mit deionisiertem Wasser ultraschallgereinigt, von inneren Rückständen befreit, mit hochreinem Gas getrocknet und anschließend einer zweifachen Vakuumreinigung und versiegelten Verpackung unterzogen, um sicherzustellen, dass die Produkte in einwandfreiem Zustand bei Ihnen ankommen.
Hikelok schafft einen sauberen, abgedichteten und sicheren Raum für Gase, damit Spezialgase für die Halbleiterindustrie optimal eingesetzt werden können. Möchten Sie mehr über unsere Hochreinheitsprodukte erfahren? In der nächsten Ausgabe lesen Sie weiter.
Veröffentlichungsdatum: 23. Februar 2022