Introduction : Ces dernières années, avec l’essor rapide des véhicules à énergies nouvelles et de l’intelligence artificielle, la demande en semi-conducteurs n’a cessé de croître. Le développement fulgurant des technologies intelligentes a accéléré la miniaturisation des semi-conducteurs, passant du niveau microélectronique au niveau atomique. Les semi-conducteurs de troisième génération inaugurent une nouvelle ère de développement de haute qualité ! Parallèlement, leur fabrication se complexifie. Quels produits Hikelok peuvent contribuer au développement des semi-conducteurs ? Découvrons-le ensemble !
Les technologies émergentes telles que l'intelligence artificielle et le big data sont des moteurs essentiels du développement, ce qui impose d'intégrer des performances accrues dans des puces plus petites. De ce fait, le processus de fabrication se complexifie, exigeant une réactivité accrue et une fiabilité supérieure des composants afin de garantir un transport chimique de haute précision, une priorité absolue.
En raison de la précision et de la complexité de la fabrication des puces semi-conductrices, qu'il s'agisse de vannes pour le contrôle précis des gaz ou de connecteurs de pipeline pour le transport de gaz électroniques, ces composants doivent être conformes aux normes industrielles ASTM et SEMI pertinentes et posséder les caractéristiques suivantes :
1. Les matières premières en acier inoxydable doivent être raffinées à l'aide de VAR ou de VIM-VAR ultra-purs afin de garantir l'exigence d'ultra-haute pureté à la source ;
2. La surface intérieure en contact avec le milieu doit subir des traitements tels que le polissage électrochimique et la passivation pour atteindre une propreté extrême tout en améliorant la résistance à la corrosion du produit ;
3. Les produits en acier inoxydable et en plastique doivent respecter les normes industrielles ASTM et SEMI pertinentes telles que le contrôle de l'analyse de l'humidité interne, le contrôle de l'analyse du carbone organique total (COT) et le contrôle de la composition de la pollution ionique.
Produits de la série ultra-pureté de HikelokNos produits répondent aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs en matière de composants fluidiques et sont conformes aux normes ASTM et SEMI, notamment en ce qui concerne la sélection des matières premières, les procédés de fabrication de haute précision et les tests d'assemblage réalisés en atelier de classe 100 exempt de poussière. Notre gamme comprend des détendeurs, des vannes à membrane et des vannes à soufflet ultra-pures, ainsi que des panneaux intégrés, des raccords ultra-purs et des tubes EP. Disponibles en plusieurs tailles, ils peuvent être personnalisés selon les exigences d'installation spécifiques à chaque site.
L'utilisation d'un joint métal sur métal assure une étanchéité fiable des produits sous vide et sous pression positive. Après traitement standard, la rugosité moyenne de la surface polie du joint ultra-pur en contact avec le fluide atteint 10 % µin (0,25 µm) Ra. Après traitement de ultra-pureté, cette rugosité moyenne atteint 5 µin (0,13 µm) Ra. L'écrou du joint ultra-pur est doté d'un orifice de détection de fuite, facilitant ainsi le contrôle de l'étanchéité. Le filetage de l'écrou est argenté afin de réduire l'usure et les risques de blocage lors de l'installation.
Raccords miniatures soudés bout à bout
La pression de conception est calculée selon les normes ASME B31.3 et ASME B31.1. La structure est compacte et robuste, avec des dimensions précises. L'extrémité à souder est droite et sans bavures, et l'épaisseur de paroi est uniforme. Elle assure une excellente compatibilité avec les tubes EP et une meilleure stabilité de soudage. La rugosité de la surface intérieure du joint peut atteindre 5 µin (0,13 µm) Ra, la rugosité moyenne après traitement standard étant de 10 µin (0,25 µm) Ra. Les joints spécialement traités et nettoyés conviennent aux systèmes ultra-purs, aux procédés photovoltaïques, etc., et sont disponibles en différentes tailles.
La pression de service peut atteindre 1 000 psig (68,9 bar) et la température maximale supportée est de 482 °C (900 °F). Nous proposons des aciers inoxydables 316L et 316L VAR, ainsi que divers alliages. La conception du raccord de la tige de soupape garantit un mouvement fiable. La conception de la tête de soupape non rotative réduit l'usure au niveau du siège, et le tube ondulé formé avec précision assure une étanchéité et une durée de vie optimales. La course du tube ondulé est rigoureusement contrôlée, ce qui améliore la sécurité et la durée de vie de ce dernier.
La pression de service peut atteindre 500 psig (34,4 bar) et la température maximale supportée est de 93 °C (200 °F). Fabriquées en acier inoxydable 316L et 316L VAR, les têtes de vanne en PCTFE (standard) sont compatibles avec la plupart des fluides ; des têtes en PI (polyimide) sont également disponibles. La conception du chapeau de vanne, sûre et fiable, et le tube ondulé de précision garantissent une étanchéité et une durée de vie optimales, assurant ainsi une étanchéité fiable. La tige de commande, spécialement conçue, offre un fonctionnement fluide.
La pression de service peut atteindre 375 psig (25,8 bar) et la température maximale supportée est de 82 °C (180 °F). Fabriquée en acier inoxydable 316L, cette vanne est conçue pour un débit élevé. La conception de la tige de vanne assure un mouvement fiable, tandis que la conception de la tête de vanne non rotative réduit l'usure au niveau du siège. La conception du corps de vanne en forme de Y garantit l'alignement de l'entrée et de la sortie, optimisant ainsi le débit et réduisant la résistance à l'écoulement. La surface intérieure, polie électrochimiquement, est propre et lisse. Grâce à son débit élevé, son étanchéité performante et sa grande sécurité, cette vanne est le choix idéal pour les systèmes de distribution de gaz de process de haute pureté, les systèmes de purification, les systèmes de filtration et les systèmes de distribution de produits chimiques de haute pureté.
Ce régulateur de pression est principalement utilisé pour contrôler la pression en amont et en aval du système. Il s'ajuste automatiquement en ligne et surveille en temps réel la pression du système de retour. La pression d'entrée maximale du produit peut atteindre 3 500 psig (241 bar), et la plage de pression de sortie est sélectionnée en fonction des conditions d'utilisation. Différents matériaux d'étanchéité pour les sièges de soupape sont disponibles, permettant une utilisation avec des gaz corrosifs et des gaz spéciaux, et convenant ainsi à diverses conditions et environnements de travail. La surface interne du produit est polie électrochimiquement avec une rugosité Ra de 0,25 µm (10 pouces). La membrane et le corps de la soupape sont entièrement métalliques et étanches, garantissant une grande fiabilité.
Deux versions sont disponibles : haute pression (3045 psig/210 bar) et basse pression (250 psig/17,2 bar). Le corps de vanne est proposé en acier inoxydable 316L VAR ou 316L VIM-VAR, avec plusieurs options de fonctionnement manuel et pneumatique. Le siège de vanne entièrement fermé en PCTFE utilise un diaphragme en Elgiloy pour une résistance accrue à la corrosion et une longue durée de vie. Le polissage électrochimique de la surface interne, avec une rugosité Ra jusqu'à 0,13 µm (5 µin), garantit un taux de fuite inférieur à 1 × 10⁻⁵.-9cm standard3/s
5、Tubes EP
Tubes EP
La surface interne a subi un polissage électrochimique avec une rugosité de 10 µm (0,25 µm) Ra, tandis que la surface externe a été polie mécaniquement, décapée à l'acide et traitée par d'autres procédés, lui conférant un aspect général brillant. Un coefficient de sécurité de 4 garantit une utilisation sûre et fiable.
Les applications mentionnées ci-dessus sont privilégiées dans l'industrie des semi-conducteurs. Hikelok suit l'évolution du secteur et met à profit sa vaste expérience en matière d'applications pour proposer des produits toujours plus performants et de haute qualité. Pour plus d'informations sur les commandes, veuillez consulter le guide de sélection sur le site web officiel de Hikelok. Pour toute question concernant le choix de vos produits, n'hésitez pas à contacter l'équipe commerciale en ligne de Hikelok, disponible 24h/24.
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Date de publication : 9 mai 2024