Заманның өзгеруіне жетекшілік ететін жаңа технологиялық сала - жартылай өткізгіштер жасанды интеллект технологиясында, 5G байланысында, күн батареяларында және телекоммуникациялық жабдықтарда серпіліс жасады, бірқатар жаңа интеллектуалды салалардың дамуына ықпал етті және адамдар үшін ыңғайлы өмір салтын жасады.
Жартылай өткізгіштерді өндіруге назар аудара отырып, күрделі технологиялар мен процестерден басқа, электрондық арнайы газ немесе арнайы газ ерекше маңызды. Электрондық арнайы газ жартылай өткізгіштерді өндірудің барлық дерлік процестерінде қолданылады. Ол маңызды шикізат болып табылады және жартылай өткізгіштің қаны деп аталады. Өндіріске 100-ден астам түрі қатысады, соның ішінде ою, легирлеу, эпитаксиалды тұндыру және тазалау. Электрондық арнайы газдың тазалығы мен тазалығы соңғы жартылай өткізгіш өнімдердің сапасы мен біліктілік деңгейіне тікелей әсер ететіндіктен, жартылай өткізгіш өнеркәсібі электрондық арнайы газға жоғары талаптар қояды.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне келетін болсақ, газ өндірісінің тазалығына кепілдік берілгеннің өзінде, газды тасымалдаудан қолдану кезеңіне дейінгі байланыста қателік болса, бұл жартылай өткізгіштер өндірісіне қолайлы емес. Электрондық газдың тазалығын қалай қамтамасыз ете аламыз?
Бұл жартылай өткізгіш сұйықтық компоненттерінің көмегін қажет етеді. Газды дәл басқаруға арналған клапан, түтік қосқышы немесе электрондық арнайы газды тасымалдайтын түтік арматурасы болсын, ол тиісті ASTM SEMI салалық стандарттарына сәйкес келуі және келесі сипаттамаларға ие болуы керек:
1. Шикізаттың тазалығы көзден жоғары тазалықты қамтамасыз ету үшін өте жоғары тазалықтағы VIM VAR тазартылған тот баспайтын болатпен таңдалуы керек;
2. Дайын өнімнің ішкі беті аса тазалыққа қол жеткізу және өнімнің коррозияға төзімділігін арттыру үшін электрохимиялық жылтырату, пассивтеу және басқа да процестермен өңделуі керек;
3. Кейбір электрондық газдар тұтанғыш және улы, сондықтан олар тамаша тығыздауға, жоғары температураға төзімділікке және тозуға төзімділікке ие болуы керек.
Жоғарыда аталған сипаттамаларға сәйкес жоғары тазалықтағы сұйықтық элементтерінің көмегімен газ қайталама ластанудан аулақ бола алады, қауіпсіз жұмыс ортасын жасайды және әртүрлі жартылай өткізгіш құрылғылардың сәтті өндірісіне ықпал етеді.
2017 жылдан бастап Hikelok компаниясы Semicon China тақырыбымен халықаралық жартылай өткізгіштер көрмесіне бірнеше жыл қатарынан қатысып келеді. Оның жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде өнім қолдануда бай тәжірибесі бар.аса таза сериялартамаша өнімділік көрсетті және тұтынушылардың қолдауына ие болды.
Hikelok компаниясының жоғары тазалық сериялы өнімдері, шикізатты таңдаудан бастап, жоғары стандартты өңдеуден бастап, шаңсыз жинау мен қаптауға дейін, жартылай өткізгіш өнеркәсібі мен жартылай өнеркәсіп стандарттарына сәйкес келетін сұйық компоненттердің талаптарына сай келеді. Түрлеріне жоғары сапалы өнімдер кіреді.тазалық қысымын төмендететін клапан,жоғары тазалықтағы диафрагма клапаны,жоғары тазалықтағы сильфонмен тығыздалған клапан,интеграцияланған панель,жоғары тазалықтағы фитингтер және EP түтігіКөптеген өлшемдер мен түрлер бар, сондай-ақ әртүрлі орнату талаптарына сәйкес реттеуге болады.
Шикізат үшін SEMI F200305 талаптарына сай келетін, сыртқы түрі жылтыр, жоғары беріктігі және коррозияға төзімділігі жақсы 316L VAR және 316L VIM-VAR материалдары ұсынылады. Шикізаттың қадағалануын қамтамасыз ету үшін әрбір өнімнің сыртқы бетіне материалдың пеш партиясының нөмірі ойылып жазылған.
Жоғары тазалық сериялары қатаң өңдеу стандарттарына ие. Аяқталғаннан кейін ішкі беті электрохимиялық жолмен жылтыратылады. Бұл процесс өнімнің тазалығы мен коррозияға төзімділігін одан әрі жақсартады және пайдалану кезінде өнімнің газбен ластану ықтималдығын азайтады.
Бұл ISO 4 деңгейлі тазалау стандартына сай таза бөлме. Өнімдер ультрадыбыстық деионизацияланған сумен тазартылады, ішкі қалдықтар жуылады, жоғары тазалықтағы газбен кептіріледі, содан кейін өнімдердің сізге ең таза күйде жеткізілуін қамтамасыз ету үшін екі қабатты вакуумдық тазарту және тығыздалған қаптама жүргізіледі.
Hikelok газ үшін таза, тығыздалған және қауіпсіз кеңістік жасайды, осылайша электронды арнайы газ жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне жақсырақ қызмет ете алады. Біздің жоғары тазалық сериямыз туралы көбірек білгіңіз келе ме? Келесі санда кездескенше.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 23 ақпан