시대 변혁을 선도하는 신흥 기술 산업인 반도체는 인공지능 기술, 5G 통신, 태양광 패널, 통신 장비 분야에서 획기적인 발전을 이루어냈으며, 수많은 새로운 지능형 산업의 발전을 촉진하고 사람들의 더욱 편리한 삶의 방식을 만들어냈습니다.
반도체 제조에 초점을 맞추면, 복잡한 기술과 공정 외에도 전자 특수 가스 또는 특수 가스가 특히 중요합니다. 전자 특수 가스는 반도체 제조의 거의 모든 공정에 사용되는 필수 원료이며, 반도체의 혈액이라고도 불립니다. 에칭, 도핑, 에피택셜 증착, 세척 등 제조 공정에 사용되는 종류는 100가지가 넘습니다. 전자 특수 가스의 순도와 청정도는 최종 반도체 제품의 품질과 합격률에 직접적인 영향을 미치기 때문에 반도체 산업에서는 전자 특수 가스에 대한 요구 조건이 매우 높습니다.
반도체 산업의 경우, 가스 생산의 순도가 보장된다 하더라도 가스 운송에서 사용에 이르기까지의 과정에서 문제가 발생하면 반도체 제조에 도움이 되지 않습니다. 전자 가스의 청정성을 어떻게 보장할 수 있을까요?
이를 위해서는 반도체 유체 부품의 도움이 필요합니다. 가스를 정밀하게 제어하는 밸브, 튜브 커넥터 또는 전자 특수 가스를 운반하는 튜브 피팅 등 어떤 부품이든 관련 ASTM SEMI 산업 표준을 준수해야 하며 다음과 같은 특징을 가져야 합니다.
1. 원료의 순도는 원천부터 높은 순도를 보장하기 위해 초고순도 VIM VAR 정제 스테인리스강을 사용하여 선별해야 합니다.
2. 완제품의 내부 표면은 초청정 상태를 달성하고 제품의 내식성을 향상시키기 위해 전기화학적 연마, 부동태화 등의 공정을 거쳐 처리해야 합니다.
3. 일부 전자 가스는 가연성 및 독성이 있으므로 우수한 밀봉성, 고온 저항성 및 내마모성을 갖춰야 합니다.
상기 특성에 부합하는 고순도 유체 요소의 지원을 통해 가스는 2차 오염을 방지하고 안전한 작업 환경을 조성하며 다양한 반도체 장치의 성공적인 제조에 기여할 수 있습니다.
히켈록은 2017년부터 수년간 국제 반도체 전시회인 세미콘 차이나에 꾸준히 참가해 왔으며, 반도체 산업 분야에서 풍부한 제품 적용 경험을 보유하고 있습니다.초고순도 시리즈뛰어난 성능을 보여주었으며 고객들에게 인기가 높습니다.
히켈록의 고순도 시리즈 제품은 원료 선정부터 고품질 공정 처리, 무분진 조립 및 포장에 이르기까지 반도체 산업에서 요구하는 유체 부품 요건과 반도체 산업 표준을 충족합니다. 제품 유형은 고순도 유체 부품을 포함합니다.순도 압력 감소 밸브,고순도 다이어프램 밸브,고순도 벨로우즈 밀봉 밸브,통합 패널,고순도 피팅 및 EP 튜브다양한 크기와 종류가 있으며, 설치 요구 사항에 따라 맞춤 제작도 가능합니다.
SEMI F200305 요구사항을 충족하는 316L VAR 및 316L VIM-VAR 소재가 원자재로 제공되며, 우수한 광택, 높은 강도 및 내식성을 자랑합니다. 원자재의 추적성을 보장하기 위해 각 제품의 외면에는 용광로 배치 번호가 각인되어 있습니다.
고순도 시리즈는 엄격한 가공 기준을 준수합니다. 제조 완료 후 내부 표면은 전기화학적 연마 처리를 거칩니다. 이 공정을 통해 제품의 청결도와 내식성이 더욱 향상되고, 사용 중 가스 오염 가능성이 줄어듭니다.
ISO 레벨 4 청정 기준을 충족하는 클린룸입니다. 제품은 탈이온수 초음파 세척, 내부 잔류물 제거, 고순도 가스 건조, 이중 진공 정화 및 밀봉 포장 과정을 거쳐 최상의 청정 상태로 고객에게 배송됩니다.
히켈록은 깨끗하고 밀폐된 안전한 가스 공간을 조성하여 반도체 산업에 더욱 효율적인 전자 특수 가스 공급을 가능하게 합니다. 당사의 고순도 가스 시리즈에 대해 더 자세히 알고 싶으신가요? 다음 호에서 뵙겠습니다.
게시 시간: 2022년 2월 23일