Введение: В последние годы, с быстрым развитием электромобилей и искусственного интеллекта, спрос на полупроводники продолжает расти. Быстрое развитие интеллектуальных технологий ускорило переход размеров полупроводников от микроэлектронного уровня к атомному. Полупроводники третьего поколения открывают новую эру высококачественного развития! В то же время, производственный процесс также становится более сложным. Какие продукты Hikelok могут помочь в развитии полупроводниковой промышленности? Давайте узнаем больше вместе!
Новые технологии, такие как искусственный интеллект и большие данные, являются ключевыми движущими силами развития, что приводит к необходимости размещения более высокопроизводительных компонентов в более компактных чипах. Это означает, что производственный процесс станет более сложным, требуя более быстрой реакции и более высокой надежности компонентов, чтобы обеспечить высокоточную транспортировку химических веществ, что станет первоочередной задачей.
Ввиду точности и сложности производства полупроводниковых микросхем, будь то клапаны для точного регулирования потока газа или соединители трубопроводов для транспортировки электронных газов, они должны соответствовать соответствующим отраслевым стандартам ASTM и SEMI и обладать следующими характеристиками:
1. Сырье для производства нержавеющей стали должно быть очищено с использованием сверхчистого VAR или VIM-VAR для обеспечения требуемой сверхвысокой чистоты из источника;
2. Внутренняя поверхность, контактирующая со средой, должна подвергаться таким процессам, как электрохимическая полировка и пассивация, для достижения сверхчистоты и одновременно повышения коррозионной стойкости изделия;
3. Изделия из нержавеющей стали и пластика должны соответствовать соответствующим отраслевым стандартам ASTM и SEMI, таким как контроль внутренней влажности, контроль общего содержания органического углерода (TOC) и контроль состава ионных загрязнений.
Продукция серии сверхвысокой чистоты от HikelokПродукция соответствует требованиям полупроводниковой промышленности к жидкостным компонентам и отвечает отраслевым стандартам ASTM и SEMI, включая выбор сырья, высокотехнологичные методы обработки и испытания сборки в беспыльном цехе 100-го уровня чистоты. В ассортимент входят редукционные клапаны сверхвысокой чистоты, мембранные клапаны сверхвысокой чистоты, сильфонные клапаны сверхвысокой чистоты, интегрированные панели, фитинги сверхвысокой чистоты и противозадирные трубки. Доступны различные типоразмеры, а также возможна индивидуальная настройка в соответствии с требованиями к установке на объекте.
1.Фитинги сверхвысокой чистоты & Фитинги для стыковой сварки
Применение металлического уплотнения обеспечивает надежную герметизацию изделий в вакууме и под избыточным давлением. После стандартной обработки средняя шероховатость полированной поверхности соединения сверхвысокой чистоты, контактирующего со средой, составляет 10% мкВ (0,25 мкм) Ra; после обработки в процессе сверхвысокой чистоты средняя шероховатость полированной поверхности, контактирующей со средой, составляет 5 мкм (0,13 мкм) Ra. Гайка соединения сверхвысокой чистоты имеет отверстие для обнаружения утечек, что облегчает ее проверку. Резьба гайки обработана методом серебрения для уменьшения износа резьбы и снижения риска зацепления резьбы при установке.
Миниатюрные фитинги для стыковой сварки
Расчетное давление основано на стандартах ASME B31.3 и ASME B31.1. Конструкция компактна и имеет точные размеры. Сварочный шов прямой, без заусенцев, толщина стенки равномерная. Это обеспечивает высокую совместимость с трубами EP и повышает стабильность сварки. Шероховатость внутренней поверхности соединения может достигать 5 мкм (0,13 мкм) Ra, средняя шероховатость поверхности после стандартной обработки составляет 10 мкм (0,25 мкм) Ra. Специально обработанные и очищенные соединения подходят для систем сверхвысокой чистоты, фотоэлектрических процессов и т. д., доступны различные типоразмеры.
Рабочее давление может достигать 1000 фунтов на квадратный дюйм (68,9 бар), а максимальная термостойкость составляет 482 ℃ (900 ℉). Мы можем предложить нержавеющую сталь 316L, 316L VAR и различные сплавы. Конструкция соединения штока клапана обеспечивает надежное перемещение штока. Невращающаяся конструкция головки клапана снижает износ в области седла клапана, а прецизионно сформированная гофрированная труба обеспечивает надежную герметизацию и длительный срок службы. Ход гофрированной трубы строго контролируется, что эффективно повышает безопасность и срок службы гофрированной трубы.
Рабочее давление может достигать 500 фунтов на квадратный дюйм (34,4 бар), а максимальная термостойкость составляет 93 ℃ (200 ℉). Изготовлены из нержавеющей стали 316L и 316L VAR, стандартные головки клапанов из PCTFE совместимы с большинством сред, также могут быть предоставлены головки клапанов из полиимида (PI). Надежная и безопасная конструкция крышки клапана, прецизионно сформированная гофрированная труба обеспечивают надежное уплотнение и длительный срок службы, делая герметизацию клапана из гофрированной трубы безопасной и надежной. Специально разработанный приводной шток клапана имеет гладкую поверхность.
Рабочее давление может достигать 375 фунтов на квадратный дюйм (25,8 бар), а максимальная термостойкость составляет 82 ℃ (180 ℉). Изготовлен из нержавеющей стали 316L с высокопроизводительной конструкцией. Конструкция соединения штока клапана обеспечивает надежное перемещение штока, а невращающаяся конструкция головки клапана снижает износ в области седла клапана. Y-образная форма корпуса клапана обеспечивает расположение входа и выхода на одной оси, что обеспечивает высокую скорость потока и снижает сопротивление потоку. Внутренняя поверхность обработана электрохимической полировкой, что делает ее чистой и гладкой. Благодаря высокой скорости потока, высокой герметичности и высокой безопасности, это оптимальный выбор для систем распределения высокочистых технологических газов, систем очистки, систем фильтрации и систем распределения высокочистых химических веществ.
Это устройство регулирования давления, в основном используемое для контроля давления на входе и выходе из системы, автоматически регулирующееся в режиме онлайн и контролирующее значение давления в системе обратной связи в реальном времени. Максимальное входное давление изделия может достигать 3500 фунтов на квадратный дюйм (241 бар), а диапазон выходного давления выбирается в соответствии с фактической рабочей ситуацией. Для уплотнения седла клапана используются различные материалы, что позволяет использовать его в агрессивных газах и особых газовых средах, что делает его подходящим для различных условий эксплуатации и окружающей среды. Внутренняя поверхность изделия электрохимически отполирована до шероховатости 10 дюймов (0,25 мкм), диафрагма и корпус клапана полностью герметизированы металлом, что обеспечивает высокую надежность.
Доступны варианты с двойным типом исполнения: для высокого (3045 фунтов на квадратный дюйм/210 бар) и низкого (250 фунтов на квадратный дюйм/17,2 бар). Корпуса клапанов изготовлены из материалов 316L VAR и 316L VIM-VAR, с возможностью ручного и пневматического управления. Полностью закрытая конструкция седла клапана из PCTFE использует диафрагму из материала Elgiloy для повышения прочности и коррозионной стойкости, обеспечивая длительный срок службы. Внутренняя поверхность обработана электрохимической полировкой до 5 мкм (0,13 мкм) Ra, что позволяет снизить утечку гелия менее чем на 1 × 10⁻⁶.-9стандартный см3/s
Трубки EP
Внутренняя поверхность подвергнута электрохимической полировке с шероховатостью 10 мкм (0,25 мкм) Ra, внешняя поверхность прошла механическую полировку, кислотную обработку и другие процессы, что обеспечивает блестящее общее состояние. Четырехкратный запас прочности гарантирует безопасное и надежное использование.
Выше перечислены предпочтительные области применения в полупроводниковой промышленности. Компания Hikelok следует тенденциям развития полупроводниковой отрасли и использует свой богатый опыт применения продукции для создания высокопроизводительных и высококачественных изделий! Для получения более подробной информации о заказе, пожалуйста, обратитесь к руководству по выбору на официальном сайте Hikelok. Если у вас возникнут вопросы по выбору, пожалуйста, свяжитесь с круглосуточной онлайн-службой продаж Hikelok.
Для получения более подробной информации о заказе, пожалуйста, ознакомьтесь с ассортиментом.каталогинаОфициальный сайт HikelokЕсли у вас возникнут вопросы по выбору, пожалуйста, свяжитесь с круглосуточной онлайн-службой продаж Hikelok.
Дата публикации: 09 мая 2024 г.