半導体は、時代の変革を牽引する新興技術産業であり、AI技術、5G通信、太陽光発電パネル、通信機器などの分野で画期的な進歩を遂げ、数々の新たなインテリジェント産業の発展を促進し、人々のより便利な生活様式を創造してきた。
半導体製造においては、複雑な技術やプロセスに加え、電子特殊ガス、あるいは特殊ガスが特に重要です。電子特殊ガスは、半導体製造のほぼすべての工程で使用され、半導体の血液とも呼ばれる不可欠な原材料です。エッチング、ドーピング、エピタキシャル成長、洗浄など、製造工程には100種類以上の電子特殊ガスが関わっています。電子特殊ガスの純度と清浄度は、最終的な半導体製品の品質と合格率に直接影響するため、半導体業界では電子特殊ガスに対する要求が非常に高くなっています。
半導体産業においては、ガス製造の純度が保証されていても、ガスの輸送から利用に至るまでの過程でミスがあれば、半導体製造には悪影響を及ぼします。では、電子ガスの清浄度をどのように確保すればよいのでしょうか？
これには半導体流体部品の助けが必要となる。ガスを正確に制御するバルブ、チューブコネクタ、電子特殊ガスを輸送するチューブ継手など、いずれの場合も、関連するASTM SEMI業界規格に準拠し、以下の特性を備えている必要がある。
1.原材料の純度は、超高純度VIM VAR精製ステンレス鋼を選定し、供給源から高純度を確保する必要があります。
2.完成品の内面は、電気化学研磨、不動態化などの処理を施し、超清浄度を実現し、製品の耐食性を向上させるものとする。
3. 一部の電子ガスは可燃性および有毒であるため、優れた密閉性、耐高温性、および耐摩耗性も必要です。
上記の特性に合致した高純度流体要素のサポートにより、ガスは二次汚染を回避し、安全な作業環境を作り出し、様々な半導体デバイスの製造成功に貢献することができる。
Hikelokは2017年以来、Semicon Chinaをテーマとした国際半導体展示会に長年にわたり参加しており、半導体業界において豊富な製品応用経験を有しています。超高純度シリーズ優れた性能を発揮し、顧客からも高い評価を得ている。
Hikelokの高純度シリーズ製品は、原材料の選定から高水準のプロセス処理、無塵組立・包装に至るまで、半導体業界および半導体産業規格で要求される流体部品の要件を満たしています。製品の種類には、高純度製品が含まれます。純度減圧弁、高純度ダイヤフラムバルブ、高純度ベローズシールバルブ、一体型パネル、高純度継手およびEPチューブサイズや種類も豊富で、設置場所の要件に合わせてカスタマイズすることも可能です。
原材料には、SEMI F200305規格に適合する316L VARおよび316L VIM-VAR材が使用されており、良好な光沢、高い強度、耐食性を備えています。原材料のトレーサビリティを確保するため、各製品の表面には材料の炉バッチ番号が刻印されています。
高純度シリーズは厳格な加工基準に基づいて製造されています。製造完了後、内面は電気化学研磨されます。この工程により、製品の清浄度と耐腐食性がさらに向上し、使用中のガス汚染の可能性が低減されます。
ISOレベル4の清浄度基準を満たすクリーンルームです。製品は脱イオン水による超音波洗浄で内部残留物を除去し、高純度ガスで乾燥させた後、二重真空浄化と密封包装を行い、お客様に最も清潔な状態でお届けいたします。
Hikelokは、ガスをクリーンで密閉された安全な空間に収容することで、半導体業界における電子特殊ガスの供給をより円滑にします。当社の高純度シリーズについてもっと詳しく知りたいですか？次号でお会いしましょう。
投稿日時：2022年2月23日