時代の変革をリードする新興テクノロジー産業である半導体は、AI技術、5G通信、太陽光パネル、通信設備などで飛躍的な進歩を遂げ、多くの新たなインテリジェント産業の発展を促進し、人々にとってより便利な生活モデルを生み出しました。
半導体の製造に着目すると、複雑な技術とプロセスに加え、電子特殊ガス、すなわち特殊ガスが特に重要です。電子特殊ガスは半導体製造のほぼすべての工程で使用され、不可欠な原料であり、「半導体の血液」と呼ばれています。エッチング、ドーピング、エピタキシャル成長、洗浄など、製造に関与するガスの種類は100種類以上あります。電子特殊ガスの純度と清浄度は、最終的な半導体製品の品質と合格率に直接影響するため、半導体業界では電子特殊ガスに対する高い要求が求められています。
半導体産業において、ガス生産時の純度が保証されていても、ガス輸送から応用までのプロセスに欠陥があれば、半導体製造には役立ちません。電子ガスの清浄度をどのように確保できるでしょうか？
これには半導体流体部品の活用が不可欠です。ガスを正確に制御するためのバルブ、チューブコネクタ、電子特殊ガスを運ぶチューブ継手など、あらゆる部品は関連するASTM SEMI業界規格に準拠し、以下の特性を備えている必要があります。
1.原材料の純度は、供給源からの高い純度を確保するために、超高純度VIM VAR精製ステンレス鋼によって選択される必要があります。
2.完成品の内面は、電気化学研磨、不動態化などの処理を施し、超清浄度を実現し、製品の耐腐食性を向上させる。
3. 一部の電子ガスは可燃性、毒性があるため、優れた密閉性、耐高温性、耐摩耗性も備えている必要があります。
上記の特性に沿った高純度流体要素のサポートにより、ガスは二次汚染を回避し、安全な作業環境を作り出し、さまざまな半導体デバイスの製造の成功に貢献します。
Hikelokは2017年以来、国際半導体展示会「Semicon China」に長年にわたり参加しており、半導体業界における豊富な製品応用経験を誇ります。超純粋シリーズ優れた性能を発揮し、お客様に好評をいただいております。
Hikelokの高純度シリーズ製品は、原材料の選定、高水準のプロセス処理、無塵の組立・包装に至るまで、半導体業界および半導体業界の標準規格で求められる流体部品の要件を満たしています。製品には高純度が含まれます。純度減圧弁、高純度ダイヤフラムバルブ、高純度ベローズシールバルブ、統合パネル、高純度継手とEPチューブさまざまなサイズとタイプがあり、さまざまな設置要件に応じてカスタマイズすることもできます。
原材料には、SEMI F200305の要件を満たす316L VARおよび316L VIM-VAR材を使用し、良好な外観光沢、高い強度、耐腐食性を備えています。原材料のトレーサビリティを確保するため、各製品の外表面には炉バッチ番号が刻印されています。
高純度シリーズは厳格な加工基準を満たしており、完成後、内面は電気化学的に研磨されます。この工程により、製品の清浄度と耐腐食性がさらに向上し、使用中のガスによる汚染の可能性を低減します。
ISOレベル4の洗浄基準を満たすクリーンルームです。製品は脱イオン水による超音波洗浄、内部残留物の洗浄、高純度ガスによる乾燥を経て、二重真空精製と密封包装により、最もクリーンな状態でお客様にお届けいたします。
Hikelokは、クリーンで密閉された安全なガス空間を創造することで、電子用特殊ガスを半導体産業により効果的に活用できるよう努めています。当社の高純度シリーズについてもっと詳しく知りたいですか？次号でお会いしましょう。
投稿日時: 2022年2月23日