Giriş: Son yıllarda, yeni enerji araçlarının ve yapay zekanın hızla yükselişiyle birlikte, yarı iletkenlere olan talep de sürekli artmaktadır. Akıllı teknolojinin hızlı gelişimi, yarı iletken boyutunun mikroelektronik seviyeden atomik seviyeye geçişini hızlandırmıştır. Üçüncü nesil yarı iletkenler, yüksek kaliteli geliştirmenin yeni bir çağını başlatıyor! Aynı zamanda, üretim süreci de daha karmaşık hale geliyor. Hikelok'un hangi ürünleri yarı iletken geliştirmede yardımcı olabilir? Gelin birlikte daha fazlasını öğrenelim!
Yapay zeka ve büyük veri gibi gelişmekte olan teknolojiler, gelişmenin temel itici güçleri olup, daha küçük çiplerde daha yüksek performans elde etme ihtiyacını doğurmaktadır. Bu da üretim sürecinin daha karmaşık hale geleceği, daha hızlı yanıt yetenekleri ve daha yüksek bileşen güvenilirliği gerektireceği anlamına gelir; böylece yüksek hassasiyetli kimyasal taşıma en önemli öncelik haline gelecektir.
Hassas gaz kontrolü için vanalar veya elektronik gazları taşıyan boru hattı bağlantı elemanları gibi yarı iletken çip üretiminin hassasiyeti ve karmaşıklığı nedeniyle, ilgili ASTM ve SEMI endüstri standartlarına uygun olmaları ve aşağıdaki özelliklere sahip olmaları gerekmektedir:
1. Paslanmaz çelik hammaddeleri, kaynağından itibaren ultra yüksek saflık gereksinimini sağlamak için ultra yüksek saflıkta VAR veya VIM-VAR kullanılarak rafine edilmelidir;
2. Ortamla temas eden iç yüzeyin, ultra temizlik elde edilirken ürünün korozyon direncini de artırmak için elektrokimyasal parlatma ve pasivasyon gibi işlemlerden geçmesi gerekir;
3. Paslanmaz çelik ve plastik ürünler, iç nem analizi kontrolü, toplam organik karbon (TOC) analizi kontrolü ve iyon kirliliği bileşimi kontrolü gibi ilgili ASTM ve SEMI endüstri standartlarını karşılamalıdır.
Hikelok'un ultra yüksek saflık serisi ürünleriYarı iletken endüstrisinin sıvı bileşenleri gereksinimlerini karşılamakta ve hammadde seçimi, yüksek standartlı işleme teknolojisi ve 100 seviyeli tozsuz bir atölyede montaj testleri de dahil olmak üzere ASTM ve SEMI endüstri standartlarına uymaktadır. Ürün tipleri arasında ultra yüksek saflıkta basınç düşürücü vanalar, ultra yüksek saflıkta diyafram vanalar, ultra yüksek saflıkta körüklü sızdırmaz vanalar, entegre paneller, ultra yüksek saflıkta bağlantı parçaları ve EP boruları bulunmaktadır. Birden fazla boyut tipi mevcuttur ve yerinde özel kurulum gereksinimlerine göre özelleştirme yapılabilir.
1、Ultra yüksek saflıkta bağlantı parçaları & Alın kaynaklı bağlantı parçaları
Ultra yüksek saflıkta bağlantı parçaları
Vakum ve pozitif basınç aralığında ürünlerin güvenilir bir şekilde sızdırmazlığını sağlamak için metalden metale sızdırmazlık formu benimsenmiştir. Standart işlemden sonra, ortamla temas eden ultra yüksek saflıkta bağlantının yüzey parlatmasının ortalama pürüzlülüğü %10 μm (0,25 μm) Ra'ya ulaşabilir; ultra yüksek saflıkta işlemden sonra, ortamla temas eden parlatılmış yüzeyin ortalama pürüzlülüğü 5 μm (0,13 μm) Ra'ya ulaşabilir. Ultra yüksek saflıkta bağlantı somunu, sızıntı tespitini kolaylaştıran bir sızıntı tespit deliği ile tasarlanmıştır. Somun dişleri, diş aşınmasını azaltmak ve montaj sırasında diş sıkışması riskini azaltmak için gümüş kaplama işlemine tabi tutulmuştur.
Minyatür alın kaynaklı bağlantı parçaları
Tasarım basıncı, ASME B31.3 ve ASME B31.1 standartlarına göre hesaplanır. Yapı kompakt ve hassas boyutlara sahiptir. Kaynak ucu çapaksız ve düzgündür, duvar kalınlığı homojendir. EP borularla yüksek uyumluluk sağlar ve kaynak stabilitesini artırır. Bağlantı yerinin iç yüzeyinin pürüzlülüğü 5 μm (0,13 μm) Ra'ya ulaşabilir, standart işlem sonrası ortalama yüzey pürüzlülüğü ise 10 μm (0,25 μm) Ra'dır. Özel olarak işlenmiş ve temizlenmiş bağlantılar, ultra yüksek saflık sistemleri, fotovoltaik işlemler vb. için uygundur ve çeşitli boyut seçenekleri mevcuttur.
Çalışma basıncı 1000 psig'ye (68,9 bar) ulaşabilir ve maksimum sıcaklık dayanımı 482 ℃'dir (900 ℉). 316L, 316L VAR paslanmaz çelik ve çeşitli alaşım malzemeleri sağlayabiliriz. Valf mili bağlantı tasarımı, valf milinin güvenilir hareketini sağlar. Dönmeyen valf başlığı tasarımı, valf yuvası bölgesindeki aşınmayı azaltır ve hassas şekillendirilmiş oluklu boru, güvenilir sızdırmazlık performansı ve kullanım ömrü sağlar. Oluklu borunun stroku sıkı bir şekilde kontrol edilir, bu da oluklu borunun güvenliğini ve kullanım ömrünü etkili bir şekilde artırır.
Çalışma basıncı 500 psig'ye (34,4 bar) ulaşabilir ve maksimum sıcaklık dayanımı 93 ℃'dir (200 ℉). 316L ve 316L VAR paslanmaz çelik malzemeler, varsayılan PCTFE vana başlıkları çoğu ortamla uyumludur ve PI (poliimid) vana başlıkları da temin edilebilir. Güvenli ve güvenilir bağlantı vana kapağı tasarımı, hassas şekillendirilmiş oluklu boru, güvenilir sızdırmazlık performansı ve hizmet ömrü sağlayarak oluklu boru vanasının sızdırmazlığını güvenli ve güvenilir hale getirir. Özel olarak tasarlanmış tahrik vana mili pürüzsüzdür.
Çalışma basıncı 375 psig'ye (25,8 bar) ulaşabilir ve maksimum sıcaklık dayanımı 82 ℃'dir (180 ℉). Yüksek akış tasarımına sahip 316L paslanmaz çelik malzeme kullanılmıştır. Valf mili bağlantı tasarımı, valf milinin güvenilir hareketini sağlar ve dönmeyen valf başlığı tasarımı, valf yuvası alanındaki aşınmayı azaltır. Y şeklindeki valf gövdesi tasarımı, valfin giriş ve çıkışının aynı eksende yer almasını sağlayarak yüksek akış hızı sunar ve akış direncini azaltır. İç yüzeyde elektrokimyasal parlatma işlemi uygulanmıştır, temiz ve pürüzsüzdür. Yüksek akış hızı, yüksek sızdırmazlık performansı ve yüksek güvenlik özellikleriyle, yüksek saflıkta proses gazı dağıtım sistemleri, arıtma sistemleri, filtrasyon sistemleri ve yüksek saflıkta kimyasal dağıtım sistemleri için en iyi seçimdir.
Bu, esas olarak yukarı ve aşağı akış basıncını ve sistemi kontrol etmek, çevrimiçi olarak otomatik ayarlama yapmak ve geri besleme sistemi basınç değerini gerçek zamanlı olarak izlemek için kullanılan bir basınç düzenleme cihazıdır. Ürünün maksimum giriş basıncı 3500 psig'ye (241 bar) ulaşabilir ve çıkış basıncı aralığı gerçek çalışma durumuna göre seçilir. Aşındırıcı gazlar ve özel gaz durumlarında kullanılabilen, çeşitli çalışma koşullarına ve ortamlara uygun, birden fazla valf yuvası sızdırmazlık malzemesi seçilmiştir. Ürünün iç yüzeyi 10 inç (0,25) μm Ra'ya kadar elektrokimyasal olarak parlatılmıştır, diyafram ve valf gövdesi yüksek güvenilirlikle tamamen metalden sızdırmaz hale getirilmiştir.
Yüksek basınçlı (3045 psig/210 bar) ve düşük basınçlı (250 psig/17,2 bar) çift tip seçenekleri mevcuttur. 316L VAR ve 316L VIM-VAR valf gövdesi malzemeleri, manuel ve pnömatik çalışma için çoklu seçeneklerle sunulmaktadır. Tamamen kapalı PCTFE valf yuvası tasarımı, mukavemeti ve korozyon direncini artırmak için Elgiloy diyafram malzemesi kullanır; uzun hizmet ömrü ve 5 μm'ye (0,13 μm) kadar iç yüzey elektrokimyasal parlatma ile helyum algılama sızıntı oranı 1 × 10⁻⁶'dan azdır.-9standart cm3/s
5.EP tüpü
EP tüpü
İç yüzey, 10 μm (0,25 μm) Ra pürüzlülüğe sahip elektrokimyasal parlatma ile işlenmiş olup, dış yüzey mekanik parlatma, asit yıkama ve diğer işlemlerden geçirilerek parlak bir görünüme kavuşturulmuştur. Güvenli ve güvenilir kullanım sağlamak için 4 kat daha yüksek güvenlik faktörüne sahiptir.
Yukarıda belirtilenler, yarı iletken endüstrisindeki tercih edilen uygulamalardır. Hikelok, yarı iletken endüstrisinin gelişim trendini takip etmekte ve zengin ürün uygulama deneyimini kullanarak sektöre daha yüksek performanslı ve yüksek kaliteli ürünler sunmaktadır! Daha fazla sipariş detayı için lütfen Hikelok resmi web sitesindeki seçim kılavuzuna bakın. Seçimle ilgili herhangi bir sorunuz varsa, lütfen Hikelok'un 7/24 çevrimiçi profesyonel satış personeliyle iletişime geçin.
Sipariş detayları için lütfen ilgili bölüme bakın.kataloglarAçıkHikelok'un resmi web sitesiHerhangi bir seçim sorunuz varsa, lütfen Hikelok'un 7/24 hizmet veren profesyonel satış personeliyle iletişime geçin.
Yayın tarihi: 09 Mayıs 2024