Giới thiệu: Trong những năm gần đây, với sự phát triển nhanh chóng của xe năng lượng mới và trí tuệ nhân tạo, nhu cầu về chất bán dẫn tiếp tục tăng trưởng. Sự phát triển nhanh chóng của công nghệ thông minh đã thúc đẩy quá trình chuyển đổi kích thước chất bán dẫn từ cấp độ vi điện tử sang cấp độ nguyên tử. Chất bán dẫn thế hệ thứ ba mở ra một kỷ nguyên mới của sự phát triển chất lượng cao! Đồng thời, quy trình sản xuất cũng phức tạp hơn. Những sản phẩm nào của Hikelok có thể hỗ trợ sự phát triển của chất bán dẫn? Hãy cùng tìm hiểu thêm!
Các công nghệ mới nổi như trí tuệ nhân tạo và dữ liệu lớn là những động lực chính thúc đẩy sự phát triển, dẫn đến nhu cầu tích hợp hiệu năng cao hơn vào các chip nhỏ hơn. Điều này có nghĩa là quy trình sản xuất sẽ trở nên phức tạp hơn, đòi hỏi khả năng phản hồi nhanh hơn và độ tin cậy cao hơn của các linh kiện để đảm bảo vận chuyển hóa chất chính xác cao sẽ trở thành ưu tiên hàng đầu.
Do tính chính xác và phức tạp của việc sản xuất chip bán dẫn, dù là van điều khiển khí chính xác hay đầu nối đường ống dẫn khí điện tử, chúng đều phải tuân thủ các tiêu chuẩn ASTM và tiêu chuẩn ngành SEMI có liên quan và phải có các đặc điểm sau:
1. Nguyên liệu thép không gỉ phải được tinh chế bằng VAR hoặc VIM-VAR siêu tinh khiết để đảm bảo yêu cầu về độ tinh khiết siêu cao ngay từ nguồn gốc;
2. Bề mặt bên trong tiếp xúc với môi trường cần trải qua các quy trình như đánh bóng điện hóa và thụ động hóa để đạt được độ sạch tối ưu đồng thời cải thiện khả năng chống ăn mòn của sản phẩm;
3. Các sản phẩm thép không gỉ và nhựa phải đáp ứng các tiêu chuẩn ASTM và SEMI có liên quan, chẳng hạn như kiểm soát phân tích độ ẩm bên trong, kiểm soát phân tích tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC) và kiểm soát thành phần ô nhiễm ion.
Các sản phẩm dòng siêu tinh khiết của HikelokĐáp ứng các yêu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn về linh kiện chất lỏng và tuân thủ các tiêu chuẩn ASTM và tiêu chuẩn ngành bán dẫn, bao gồm lựa chọn nguyên vật liệu, công nghệ xử lý tiêu chuẩn cao và thử nghiệm lắp ráp trong xưởng không bụi cấp độ 100. Các loại sản phẩm bao gồm van giảm áp siêu tinh khiết, van màng siêu tinh khiết, van kín kiểu ống xếp siêu tinh khiết, bảng điều khiển tích hợp, phụ kiện siêu tinh khiết và ống EP. Có nhiều kích cỡ khác nhau và có thể tùy chỉnh theo yêu cầu lắp đặt riêng tại chỗ.
Sử dụng phương pháp làm kín kim loại với kim loại để đạt được độ kín khít đáng tin cậy cho sản phẩm trong phạm vi chân không và áp suất dương. Sau quá trình xử lý tiêu chuẩn, độ nhám trung bình của bề mặt được đánh bóng của khớp nối siêu tinh khiết tiếp xúc với môi trường có thể đạt 10% μIn (0,25 μm) Ra; Sau khi xử lý siêu tinh khiết, độ nhám trung bình của bề mặt được đánh bóng tiếp xúc với môi trường có thể đạt 5 μIn (0,13 μm) Ra. Đai ốc khớp nối siêu tinh khiết được thiết kế với lỗ phát hiện rò rỉ, giúp dễ dàng phát hiện rò rỉ. Ren của đai ốc được xử lý bằng quy trình mạ bạc để giảm mài mòn ren và giảm nguy cơ kẹt ren trong quá trình lắp đặt.
Áp suất thiết kế được tính toán dựa trên tiêu chuẩn ASME B31.3 và ASME B31.1. Cấu trúc nhỏ gọn, chắc chắn với kích thước chính xác. Đầu hàn thẳng, không có gờ, và độ dày thành đồng đều. Điều này giúp đạt được khả năng tương thích cao với ống EP và cải thiện độ ổn định hàn. Độ nhám bề mặt bên trong mối nối có thể đạt 5 μIn (0,13 μm) Ra, độ nhám bề mặt trung bình sau khi xử lý theo quy trình tiêu chuẩn là 10 μIn (0,25 μm) Ra. Các mối nối được xử lý và làm sạch đặc biệt phù hợp cho các hệ thống siêu tinh khiết, quy trình quang điện, v.v., với nhiều kích thước khác nhau để lựa chọn.
Áp suất làm việc có thể đạt tới 1000 psig (68,9 bar) và khả năng chịu nhiệt tối đa là 482 ℃ (900 ℉). Chúng tôi có thể cung cấp thép không gỉ 316L, 316L VAR và nhiều loại vật liệu hợp kim khác nhau. Thiết kế kết nối trục van đảm bảo chuyển động đáng tin cậy của trục van. Thiết kế đầu van không xoay giúp giảm mài mòn ở khu vực đế van, và ống lượn sóng được định hình chính xác mang lại hiệu suất làm kín đáng tin cậy và tuổi thọ cao. Hành trình của ống lượn sóng được kiểm soát chặt chẽ, giúp cải thiện hiệu quả độ an toàn và tuổi thọ của ống lượn sóng.
Áp suất làm việc có thể đạt tới 500 psig (34,4 bar) và khả năng chịu nhiệt tối đa là 93 ℃ (200 ℉). Vật liệu thép không gỉ 316L và 316L VAR, đầu van PCTFE mặc định tương thích với hầu hết các môi chất, và có thể cung cấp đầu van PI (polyimide). Thiết kế nắp van khớp nối an toàn và đáng tin cậy, ống lượn sóng được định hình chính xác mang lại hiệu suất làm kín và tuổi thọ đáng tin cậy, giúp việc làm kín van ống lượn sóng an toàn và đáng tin cậy. Trục van dẫn động được thiết kế đặc biệt hoạt động trơn tru.
Áp suất làm việc có thể đạt tới 375 psig (25,8 bar) và nhiệt độ chịu đựng tối đa là 82 ℃ (180 ℉). Vật liệu thép không gỉ 316L với thiết kế lưu lượng cao. Thiết kế kết nối trục van đảm bảo chuyển động đáng tin cậy của trục van, và thiết kế đầu van không xoay giúp giảm mài mòn ở khu vực đế van. Thiết kế thân van hình chữ Y đảm bảo đầu vào và đầu ra của van nằm trên cùng một trục, cung cấp lưu lượng cao và giảm sức cản dòng chảy. Bề mặt bên trong được xử lý đánh bóng điện hóa, sạch và nhẵn. Với lưu lượng cao, hiệu suất làm kín cao và độ an toàn cao, đây là lựa chọn tốt nhất cho các hệ thống phân phối khí tinh khiết cao, hệ thống lọc, hệ thống phân phối hóa chất tinh khiết cao.
Đây là thiết bị điều chỉnh áp suất, chủ yếu được sử dụng để kiểm soát áp suất đầu vào và đầu ra của hệ thống, tự động điều chỉnh trực tuyến và giám sát giá trị áp suất hệ thống phản hồi theo thời gian thực. Áp suất đầu vào tối đa của sản phẩm có thể đạt 3500 psig (241 bar), và phạm vi áp suất đầu ra được lựa chọn theo tình hình vận hành thực tế. Sản phẩm sử dụng nhiều loại vật liệu làm kín van khác nhau, có thể sử dụng trong môi trường khí ăn mòn và khí đặc biệt, phù hợp với nhiều điều kiện và môi trường làm việc khác nhau. Bề mặt bên trong của sản phẩm được đánh bóng điện hóa đạt độ nhám 10 inch (0,25 μm) Ra, màng ngăn và thân van được làm kín hoàn toàn bằng kim loại với độ tin cậy cao.
Có sẵn các loại van kép áp suất cao (3045psig/210bar) và áp suất thấp (250psig/17.2bar) để lựa chọn. Vật liệu thân van là 316L VAR và 316L VIM-VAR, với nhiều tùy chọn vận hành bằng tay và khí nén. Thiết kế đế van PCTFE kín hoàn toàn sử dụng vật liệu màng Elgiloy để cải thiện độ bền và khả năng chống ăn mòn, với tuổi thọ cao và bề mặt bên trong được đánh bóng điện hóa lên đến 5uin (0,13) μm) Ra, tỷ lệ rò rỉ khí heli nhỏ hơn 1 × 10⁻⁶.-9cm tiêu chuẩn3/s
5.Ống EP
Ống EP
Bề mặt bên trong được đánh bóng điện hóa với độ nhám 10 μIn (0,25 μm) Ra, bề mặt bên ngoài được đánh bóng cơ học, rửa bằng axit và các quy trình khác, mang lại vẻ ngoài sáng bóng tổng thể. Hệ số an toàn gấp 4 lần đảm bảo sử dụng an toàn và đáng tin cậy.
Những ứng dụng nêu trên là những ứng dụng được ưa chuộng trong ngành công nghiệp bán dẫn. Hikelok luôn bắt kịp xu hướng phát triển của ngành công nghiệp bán dẫn và tận dụng kinh nghiệm ứng dụng sản phẩm phong phú của mình để mang đến nhiều sản phẩm hiệu năng cao và chất lượng cao hơn cho ngành! Để biết thêm chi tiết đặt hàng, vui lòng tham khảo hướng dẫn lựa chọn sản phẩm trên trang web chính thức của Hikelok. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc nào về việc lựa chọn sản phẩm, vui lòng liên hệ với đội ngũ bán hàng chuyên nghiệp trực tuyến 24/7 của Hikelok.
Để biết thêm chi tiết về cách đặt hàng, vui lòng tham khảo phần lựa chọn.danh mụcTRÊNTrang web chính thức của HikelokNếu bạn có bất kỳ thắc mắc nào về việc lựa chọn sản phẩm, vui lòng liên hệ với đội ngũ bán hàng chuyên nghiệp trực tuyến 24/7 của Hikelok.
Thời gian đăng bài: 09/05/2024