半导体作为引领时代变革的新兴技术产业,在人工智能技术、5G通信、太阳能电池板和电信设备等领域取得了突破性进展,推动了众多新兴智能产业的发展,为人们创造了更加便捷的生活方式。
在半导体制造领域,除了复杂的工艺和技术之外,电子特种气体或特殊气体也至关重要。电子特种气体几乎应用于半导体制造的每一个环节,是不可或缺的原材料,被誉为半导体的“血液”。制造过程中涉及的电子特种气体种类超过百种,包括刻蚀、掺杂、外延沉积和清洗等。由于电子特种气体的纯度和洁净度直接影响最终半导体产品的质量和合格率,因此半导体行业对电子特种气体的要求非常高。
就半导体行业而言,即使气体生产的纯度得到保证,如果从气体输送到应用的环节出现差错,也不利于半导体制造。我们如何才能确保电子气体的洁净度?
这需要借助半导体流体元件。无论是用于精确控制气体的阀门、管接头,还是输送电子专用气体的管件,都应符合相关的ASTM SEMI行业标准,并具备以下特性:
1.原材料的纯度必须选用超高纯度VIM VAR精炼不锈钢,以确保从源头上就具有高纯度;
2.对成品内表面进行电化学抛光、钝化等处理,以达到超洁净状态,提高产品的耐腐蚀性;
3.有些电子气体易燃且有毒,因此它们还应具有优异的密封性、耐高温性和耐磨性。
借助符合上述特性的高纯度流体元件,气体可以避免二次污染,创造安全的工作环境,并有助于各种半导体器件的成功制造。
自2017年以来,海科洛克已连续多年参加以“中国国际半导体展”(Semicon China)为主题的国际半导体展览会,在半导体行业拥有丰富的产品应用经验。超纯系列表现出色,深受顾客喜爱。
Hikelok的高纯度系列产品,从原材料选择、高标准工艺加工到无尘组装和包装,均满足半导体行业对流体元件的要求以及半导体行业标准。产品类型包括高纯度系列。纯度减压阀,高纯度隔膜阀,高纯度波纹管密封阀,集成面板,高纯度接头和EP管产品有多种尺寸和类型,也可根据不同的安装要求进行定制。
原材料采用符合SEMI F200305标准的316L VAR和316L VIM-VAR不锈钢,具有良好的外观光泽、高强度和耐腐蚀性。每件产品的外部表面均刻有材料的炉号,以确保原材料的可追溯性。
高纯系列产品采用严格的加工标准。生产完成后,内表面将进行电化学抛光。此工艺进一步提高了产品的清洁度和耐腐蚀性,并降低了产品在使用过程中对气体造成的潜在污染。
这是符合ISO 4级洁净标准的洁净室。产品经去离子水超声波清洗,去除内部残留物,高纯气体干燥,然后进行双层真空净化和密封包装,确保产品以最洁净的状态交付给您。
Hikelok 为气体创造了洁净、密封、安全的储存空间,使电子特种气体能够更好地服务于半导体行业。想了解更多关于我们高纯度系列产品的信息吗?敬请期待下一期。
发布时间:2022年2月23日