Einleitung: In den letzten Jahren ist der Bedarf an Halbleitern mit dem rasanten Aufstieg von Elektrofahrzeugen und künstlicher Intelligenz stetig gestiegen. Die schnelle Entwicklung intelligenter Technologien hat den Übergang von der mikroelektronischen zur atomaren Ebene der Halbleiter beschleunigt. Halbleiter der dritten Generation läuten eine neue Ära hochwertiger Entwicklung ein! Gleichzeitig wird der Herstellungsprozess komplexer. Welche Produkte von Hikelok können die Halbleiterentwicklung unterstützen? Erfahren Sie mehr!
Neue Technologien wie künstliche Intelligenz und Big Data treiben die Entwicklung maßgeblich voran und erfordern immer kleinere Chips mit höherer Leistung. Dies bedeutet, dass der Herstellungsprozess komplexer wird und schnellere Reaktionszeiten sowie eine höhere Zuverlässigkeit der Komponenten notwendig sind, um einen hochpräzisen Chemikalientransport zu gewährleisten.
Aufgrund der Präzision und Komplexität der Halbleiterchip-Herstellung müssen die Produkte, egal ob es sich um Ventile zur präzisen Gasregelung oder Rohrleitungsverbinder für den Transport von Elektronikgasen handelt, den einschlägigen ASTM- und SEMI-Industriestandards entsprechen und folgende Eigenschaften aufweisen:
1. Edelstahl-Rohstoffe müssen mit ultrahochreinem VAR oder VIM-VAR raffiniert werden, um die Anforderung ultrahochreiner Reinheit bereits ab der Quelle zu gewährleisten;
2. Die mit dem Medium in Kontakt stehende Innenfläche muss Verfahren wie elektrochemisches Polieren und Passivieren unterzogen werden, um höchste Reinheit zu erreichen und gleichzeitig die Korrosionsbeständigkeit des Produkts zu verbessern;
3. Edelstahl- und Kunststoffprodukte müssen die einschlägigen ASTM- und SEMI-Industriestandards erfüllen, wie z. B. die Kontrolle der internen Feuchtigkeitsanalyse, die Kontrolle der gesamten organischen Kohlenstoffanalyse (TOC) und die Kontrolle der Ionenbelastung.
Hikeloks Ultra-Hochreinheits-SerieUnsere Produkte erfüllen die Anforderungen der Halbleiterindustrie an Fluidkomponenten und entsprechen den Industriestandards ASTM und SEMI. Dies umfasst die sorgfältige Auswahl der Rohstoffe, modernste Verarbeitungstechnologien und Montageprüfungen in einem Reinraum der Klasse 100. Unser Produktportfolio beinhaltet hochreine Druckminderventile, hochreine Membranventile, hochreine Balgventile, integrierte Schalttafeln, hochreine Verschraubungen und EP-Schläuche. Wir bieten verschiedene Größen an und fertigen kundenspezifische Ausführungen gemäß Ihren individuellen Installationsanforderungen.
1.Armaturen für höchste Reinheit & Stumpfgeschweißte Formstücke
Armaturen für höchste Reinheit
Durch die Verwendung einer Metall-auf-Metall-Dichtung wird eine zuverlässige Abdichtung der Produkte im Vakuum- und Überdruckbereich gewährleistet. Nach der Standardbehandlung beträgt die mittlere Oberflächenrauheit der mit dem Medium in Kontakt stehenden, hochreinen Verbindung 10 % μin (0,25 μm) Ra. Nach der Hochreinheitsbehandlung liegt die mittlere Oberflächenrauheit der mit dem Medium in Kontakt stehenden, polierten Oberfläche bei 5 μin (0,13 μm) Ra. Die Überwurfmutter der hochreinen Verbindung ist mit einer Leckageerkennungsbohrung versehen, die die Lecksuche erleichtert. Das Gewinde der Mutter ist versilbert, um den Gewindeverschleiß zu reduzieren und das Risiko des Verkantens während der Montage zu minimieren.
Miniatur-Stumpfschweißfittings
Der Auslegungsdruck wird gemäß ASME B31.3 und ASME B31.1 berechnet. Die Konstruktion ist kompakt und präzise. Das Schweißende ist gratfrei und gerade, die Wandstärke gleichmäßig. Dadurch wird eine hohe Kompatibilität mit EP-Rohren erreicht und die Schweißstabilität verbessert. Die Oberflächenrauheit der Nahtinnenseite beträgt maximal 5 μin (0,13 μm) Ra, nach Standardbehandlung durchschnittlich 10 μin (0,25 μm) Ra. Die speziell behandelten und gereinigten Verbindungen eignen sich für Reinstwassersysteme, Photovoltaikprozesse etc. und sind in verschiedenen Größen erhältlich.
Der Betriebsdruck kann bis zu 1000 psig (68,9 bar) betragen, die maximale Temperaturbeständigkeit liegt bei 482 °C (900 °F). Wir bieten Edelstahl 316L, 316L VAR und verschiedene Legierungen an. Die Konstruktion der Ventilspindelverbindung gewährleistet eine zuverlässige Bewegung der Spindel. Die drehfeste Ventilkopfkonstruktion reduziert den Verschleiß im Ventilsitzbereich, und das präzisionsgeformte Wellrohr sorgt für zuverlässige Dichtleistung und lange Lebensdauer. Der Hub des Wellrohrs wird streng kontrolliert, was die Sicherheit und Lebensdauer des Rohrs effektiv erhöht.
Der Betriebsdruck beträgt bis zu 500 psig (34,4 bar), die maximale Temperaturbeständigkeit 93 °C (200 °F). Die Ventile sind aus Edelstahl 316L und 316L VAR gefertigt und standardmäßig mit PCTFE-Ventilköpfen ausgestattet, die mit den meisten Medien kompatibel sind. Ventilköpfe aus Polyimid (PI) sind optional erhältlich. Die sichere und zuverlässige Konstruktion der Ventilkappe und das präzisionsgeformte Wellrohr gewährleisten eine zuverlässige Dichtung und lange Lebensdauer. Der speziell entwickelte Ventilschaft ist leichtgängig.
Der Betriebsdruck beträgt bis zu 375 psig (25,8 bar), die maximale Temperaturbeständigkeit 82 °C (180 °F). Das Ventil ist aus Edelstahl 316L gefertigt und für hohe Durchflussraten ausgelegt. Die Konstruktion der Ventilspindelverbindung gewährleistet eine zuverlässige Bewegung der Spindel, und der nicht rotierende Ventilkopf reduziert den Verschleiß im Ventilsitzbereich. Die Y-förmige Bauweise des Ventilkörpers sorgt dafür, dass Ein- und Auslass auf derselben Achse liegen, was einen hohen Durchfluss und geringen Strömungswiderstand ermöglicht. Die elektrochemisch polierte Innenfläche ist sauber und glatt. Dank hoher Durchflussrate, hoher Dichtleistung und hoher Sicherheit ist dieses Ventil die optimale Wahl für Reinstgasverteilungssysteme, Reinigungssysteme, Filtrationssysteme und Reinstchemikalienverteilungssysteme.
Dieses Druckregelgerät dient hauptsächlich zur Steuerung des Drucks im Zu- und Ablauf sowie im gesamten System. Es passt den Druck automatisch online an und überwacht den Systemdruck in Echtzeit. Der maximale Eingangsdruck beträgt 3500 psig (241 bar), der Ausgangsdruckbereich wird je nach Betriebssituation gewählt. Verschiedene Dichtungsmaterialien für den Ventilsitz ermöglichen den Einsatz in korrosiven und speziellen Gasumgebungen und eignen sich für diverse Betriebsbedingungen und Umgebungen. Die Innenfläche des Produkts ist elektrochemisch auf eine Oberflächenrauheit von 0,25 μm (10 Zoll) poliert. Membran und Ventilkörper sind vollständig metallgedichtet und gewährleisten so eine hohe Zuverlässigkeit.
Es stehen Dual-Ausführungen für Hochdruck (3045 psig/210 bar) und Niederdruck (250 psig/17,2 bar) zur Auswahl. Die Ventilgehäuse sind in den Werkstoffen 316L VAR und 316L VIM-VAR erhältlich und bieten vielfältige Optionen für manuelle und pneumatische Betätigung. Der vollständig geschlossene PCTFE-Ventilsitz mit Elgiloy-Membran sorgt für verbesserte Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit, eine lange Lebensdauer und eine elektrochemische Oberflächenpolitur von bis zu 5 µin (0,13 µm) Ra. Die Helium-Leckrate liegt unter 1 × 10⁻⁶.-9Standard cm3/s
EP-Schläuche
Die Innenfläche wurde elektrochemisch poliert und weist eine Rauheit von 10 μm (0,25 μm) Ra auf. Die Außenfläche wurde mechanisch poliert, mit Säure behandelt und weiteren Prozessen unterzogen, wodurch ein insgesamt glänzender Zustand erzielt wird. Der Sicherheitsfaktor beträgt das Vierfache und gewährleistet so eine sichere und zuverlässige Anwendung.
Die oben genannten Anwendungen sind in der Halbleiterindustrie besonders beliebt. Hikelok ist stets am Puls der Zeit und nutzt seine umfassende Anwendungserfahrung, um der Branche noch leistungsstärkere und qualitativ hochwertigere Produkte anzubieten. Weitere Informationen zur Bestellung finden Sie im Auswahlhandbuch auf der offiziellen Hikelok-Website. Bei Fragen zur Produktauswahl steht Ihnen unser 24-Stunden-Online-Vertriebsteam gerne zur Verfügung.
Weitere Bestellinformationen finden Sie in der Auswahl.KatalogeAnHikeloks offizielle WebsiteBei Fragen zur Auswahl wenden Sie sich bitte an die professionellen Online-Vertriebsmitarbeiter von Hikelok, die rund um die Uhr erreichbar sind.
Veröffentlichungsdatum: 09. Mai 2024